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금속박막실험

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작성일 23-01-19 17:00

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금속박막실험
금속박막,Sputtering,반도체,자기센서,기계,실험과제




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설명

1. Mechanical properties of thin metal films, 2. Electrical Properties of metallic Thin Film, 3. Hall Effect & Hall 소자를 이용한 반도체 자기 센서, 4. Sputtering, , , , , FileSize : 97K , 금속박막실험기계실험과제 , 금속박막 Sputtering 반도체 자기센서

실험과제/기계




1. Mechanical properties of thin metal films, 2. Electrical Properties of metallic Thin Film, 3. Hall Effect & Hall 소자를 이용한 반도체 자기 센서, 4. Sputtering, , , , , filesize : 97K
다.



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순서

Thin films의 강도를 결정하는데 여러가지 방법이 있따 High speed rotor test,bulge test,microtensile testing machine,전자현미경에서 사용하는 설비도 여기에 포함된다 준비단계에서 문제가 발생하는데,thick film을 사용하면 많은 test machines,techniques이 쉽게 사용될 수 있으므로 시편의 mechanical property testing이 쉽다. 그러므로 thick film에서 측정(測定) 된 기계적 성질의 스펙트럼이 thin film을 사용할 때보다 더 넓다.
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